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现在精密定位技术得到了广泛的应用。例如: 计量型紫外光学显微镜中,用于掩膜版的线宽测量; 原子力显微镜中,用于测量样品表面微观形貌以及进行纳米加工移动平台纟例可根据工作形式的不同分类而有相对应的产品:X轴、Y轴、Z轴、旋转、弧度、多维组合等,驱动方式手动和电动两大类。平台设计特,结构合理,质量稳定,多种安装台面,比例的安装孔位设计适应不同安装需求,并可方便快速地组合成多维移动台。
北京微纳光科仪器(集团).. 3年
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