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在集成电路中,要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造大行程定位技术的研究,不仅仅会加快微观领域中的技术研究发展,还会增进相关产业的技术发展。所以针对大行程精密定位技术的研究,不仅具有重大的科学意义,还具有实用价值。应用领域: DVD,MD,CD相关光碟读取透镜及可写光学头的生产和检测设备。主要是弧形定位平台。 液晶投影机棱镜定位和装片。 光纤定位,光通讯系统产品及检测设备
北京微纳光科仪器(集团).. 4年
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