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现在精密定位技术得到了广泛的应用。例如： 计量型紫外光学显微镜中，用于掩膜版的线宽测量； 原子力显微镜中，用于测量样品表面微观形貌以及进行纳米加工大行程定位技术的研究，不仅仅会加快微观领域中的技术研究发展，还会增进相关产业的技术发展。所以针对大行程精密定位技术的研究，不仅具有重大的科学意义，还具有实用价值。移动平台纟例可根据工作形式的不同分类而有相对应的产品：X轴、Y轴、Z轴、旋转、弧度、多维组合等，驱动方式手动和电动两大类。
北京微纳光科仪器（集团）.. 3年
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